Bei der Herstellung von Halbleiterprodukten und Solarzellen sind je nach Produkt und Produktionsschritt unterschiedliche Wasserqualitäten nötig. Analog dazu nutzt H+E für seine Kunden verschiedene Herstellungsprozesse. Besonders wichtig ist es, partikuläre, ionogene und organische Verunreinigungen zu entfernen – aus folgendem Grund: Um den höchsten Qualitätsanforderungen gerecht zu werden, dürfen Inhaltstoffe im Reinstwasser teilweise nur noch im ppt-Bereich (parts per trillion) vorliegen. Um dieses anspruchsvolle Aufbereitungsziel zu erreichen, bedarf es angepasster Behandlungsschritte und einer Auswahl der richtigen Werkstoffe.
Vorbehandlung für die Reinstwassererzeugung
Welche Verfahrenskombination sich am besten für die Reinstwassererzeugung eignet, hängt in jedem Einzelfall von dem zur Verfügung stehenden Rohwasser und der gewünschten Reinstwasserspezifikation ab. H+E kombiniert bei den Anlagen für seine Kunden Vorbehandlungsverfahren, die optimal auf die erforderliche Rohwasserqualität zugeschnitten sind. Das können einfache Mehrschichtfilter ebenso sein wie Aktivkohlefilter oder Ultrafiltrationsanlagen.
Make-up für die Erzeugung von Reinstwasser
Die im Make-up folgenden Verfahrensstufen dienen der Entmineralisierung und der Reduktion des organischen Kohlenstoffs (TOC). Als Aufbereitungstechniken kommen in Frage: Ionenaustausch, Umkehrosmose, Membranentgasung, TOC-UV, EDI und Mischbetttechnik. Auch das kompakte, von uns entwickelte Anlagenkonzept zur Reinstwassererzeugung ROCEDIS.UPW steht für kleinere Anlagendurchsätze zur Verfügung.
Gemäß dem Individualansatz von H+E erarbeiten unsere Spezialisten Verfahrenslösungen, die exakt an den Standort der Anlage angepasst sind und die vom Kunden benötigte Reinstwasserqualität sicherstellen.
Polishing für die Reinstwassererzeugung
In der letzten Stufe der Reinstwassererzeugung, dem sogenannten Polishing, wird die höchste UPW-Endqualität hergestellt. Bevor das Wasser in das Verteilungsnetz auch Loop-System genannt – eingespeist wird, erfolgt die Endbehandlung. Dadurch stellen wir bei unseren Anlagen die geforderte Reinstwasserqualität sicher. Dies geschieht durch UV-Bestrahlung, Membranentgasung und Membranbegasung, den Einsatz eines Polisher-Mischbetts und einer abschließenden Ultrafiltration. Das Loop-Systems SEMICIRCLE verteilt das gewonnene Reinstwasser dann an die verschiedenen Einsatzstellen.
Aufgrund unserer langjährigen Erfahrung bieten wir Ihnen:
Sichere Bewertung der Rohwassersituation bzgl. kritischer Rohwasserkomponenten
Auswahl geeigneter Werkstoffe und Aggregate für die Reinstwasserherstellung
Bau und Inbetriebnahme von zuverlässigen Reinstwasseranlagen
Beratung und Unterstützung in kritischen Betriebsphasen
